1. | > Шифр: VII 119 (Журнал) Микроэлектроника [Текст]/ Гл. ред.: Красников Г. Я. ; Отделение нанотехнологий и информационных технологий РАН. - М. : Наука, 1972 - (М.). - Выходит раз в два месяца СВЕДЕНИЯ ОБ ИЗМЕНЕНИИ ИЗДАНИЯ: Настоящее издание В 1991г. переименовано из Микроэлектроника/АН СССР. - ISSN 0544-1269 (Шифр VII 119). - ISSN 0544-1269 Рубрики: Электроника
Аннотация: Журнал "Микроэлектроника" основан в 1972 г. Он посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые реализации квантовых битов (кубитов). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем. Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов. Электронная версия - URL: http://www.maikonline.com Журнал выходит на русском и английском языках. English title: Russian Microelectronics Зарегистрированы поступления: 2015
2014
2012
2011
2010
2009
2008
2007
2006
2005
2004
2003
2002
2001
2000
1995/1999
1994
1990/1993
1980/1989
1974/1979
1973
https://sciencejournals.ru/journal/mikelek/ http://ns.ftian.ru/journals/mikelek/ Перейти: https://sciencejournals.ru/journal/mikelek/, Перейти: http://ns.ftian.ru/journals/mikelek/ Найти похожие
| |