Поисковый запрос: (<.>A=Данилин, Б. С.$<.>) |
Общее количество найденных документов : 8
Показаны документы с 1 по 8 |
| 1. | ХР
Данилин, Б. С.
Применение низко-температурной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : ил. - Библиогр.: с. 316-324
Рубрики: ФИЗИКА
Найти похожие
| |
| 2. | ХР
Данилин, Б. С.
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов [Текст] / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 263 с. : ил. - Библиогр.: с. 252 - 260
ББК Ф XI-5.8 Ф XI-5.2 Тх XVI-2
Рубрики: ФИЗИКА
Кл.слова (ненормированные):
ПРИМЕНЕНИЕ ПЛАЗМЫ -- СОСТОЯНИЯ И ВИДЫ ПЛАЗМЫ -- ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
Доп.точки доступа: Киреев, В.Ю.
Найти похожие
| |
| 3. | ФТИ
Данилин, Б. С.
Магнетронные распылительные системы [Текст] / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин. - М. : [б. и.], 1982. - 72 с. : ил.
Фотокопия
ББК Tx XII-2.942
Рубрики: Техника
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Доп.точки доступа: Сырчин, В.К.
Найти похожие
| |
| 4. | ФТИ
Данилин, Б. С.
Ионное травление микроструктур [Текст] / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. - М. : Советское радио, 1979. - 103 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 21)
Рубрики: ТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- ПРОРИЗВОДСТВО
Доп.точки доступа: Киреев, В.Ю.
Найти похожие
| |
| 5. | ФТИ
Данилин, Б. С.
Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Б.С. Данилин. - М. : Энергия , 1977. - 136 с. : ил. ; 20 см. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 10)
Рубрики: ТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ПРИМЕНЕНИЕ ВАКУУМА -- МИКРОСХЕМЫ ПЛЕНОЧНЫЕ -- ПОЛУЧЕНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
Найти похожие
| |
| 6. | ФТИ
Данилин, Б. С.
Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия , 1972. - 256 с. : ил.. - Библиогр.: с. 245-254
Рубрики: ТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ПРОИЗВОДСТВО -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Доп.точки доступа: Нилендер, Р.А. \ред.\
Найти похожие
| |
| 7. | ФТИ
Данилин, Б. С.
Основы конструирования вакуумных систем [Текст] / Б. С. Данилин, В. Е. Минайчев ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия , 1971. - 392 с. : ил.. - Библиогр.: с. 386-391
Рубрики: ТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ
Доп.точки доступа: Минайчев, В.Е.; Нилендер, Р.А. \ред.\
Найти похожие
| |
| 8. | ФТИ
ФТИ
Данилин, Б. С.
Конструирование вакуумных систем [Текст] / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. ; Л. : Госэнергоиздат, 1959. - 272 с. : ил.. - Библиогр.: с. 268-270
Рубрики: ТЕХНИКА
Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- КОНСТРУИРОВАНИЕ
Доп.точки доступа: Нилендер, Р.А. \ред.\
Найти похожие
| |
|
|
Электронный каталог (ЭК) Библиотеки Российской академии наук (БАН)
Описание ЭК