1. | Ф|10061 B83
Boyd, I. W. Laser processing of thin films and microstructures: Oxidation, deposition and etching of insulators [Текст] / I.W. Boyd. - Berlin etc. : Springer, 1987. - VIII, 320 p. : il. - (Springer ser. in materials science ; vol.3). - Bibliogr.: p. 287-313. -Subject. ind.: p. 315-320. - ISBN 3-540-17951-8 (Berlin) : 3.00 р., 35.00 р.ББК Ф V-9 + Ф ХIII-1.839 + Ф VII-1.1
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПРИМЕНЕНИЕ ЛАЗЕРОВ -- ТЕОРИЯ, ИСТОРИЯ, СБОРНИКИ
Найти похожие
|