2. |
Кристаллизация и формирование карбида кремния в двухслойных аморфных пленках кремний-углерод при электронном облучении [Текст] / А.И. Сидоров, Е.Я. Лекс, О.А. Подсвиров, А.Ю. Виноградов > // ЖТФ. - 2022. - Т.: 92, № : 11. - С. 1705-1710. - Библиогр.: 46 назв.
Доп.точки доступа: Сидоров, А.И.; Лекс, Е.Я.; Подсвиров, О.А.; Виноградов, А.Ю. Найти похожие
|