2. |
Кинетика окисления кремния и структура окисных слоев толщиной менее 50 ангстрем [Текст] / А.Я. Вуль, Т.Л. Макарова, В.Ф. Осипов, > // ФТП. - 1992. - Т.: 26, № : 1. - С. 111-121. - Библиогр.: 26 назв.
Доп.точки доступа: Вуль, А.Я.; Макарова, Т.Л.; Осипов, В.Ф.; Зинчик, Ю.С.; Бойцов, С.К. Найти похожие
|