1. | 621.382.049.77.002(082) Н 34 2001к/16691 / Н 34-Осн.ф.
Научные основы разработки технологий и оборудование микроэлектроники : межвуз. сб. / М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) ; Под ред. В. В. Гусева, М. Л. Минкина. - М. : МИЭТ, 2000. - 276 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-7256-0273-7 : 40 р.ББК 32.844.1 + З844.1я43
Рубрики: Микроэлектроника
Доп.точки доступа: Гусев, Владимир Владимирович \ред.\; Минкин, Максим Леонидович \ред.\ Найти похожие
|